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半導體製程技術

磊晶矽薄膜的純度高、缺陷少、性質佳，但其製程溫度最高、難度最高，因此在元件應用上 ... 及純度控制方面遠較擴散法優越，在大型積體電路製作上已被廣泛應用。

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