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半導體製程技術 - 聯合大學

▫ 氧化速率對溫度具高敏感性(指數相關). ▫ 溫度越高，氧化速率越高. ▫ 溫度越高，氧和矽之間的化學反應速率和氧在二氧化矽. 的擴散速率也 ...

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