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擴散幫浦原理
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Microsoft PowerPoint - Chapter 3 產生真空的辦法.ppt [相容模式]
4 擴散幫浦diffusion pump 為利用氣體擴散的原理的幫浦當真空系統中的壓力達可起動擴散幫浦的壓力時, 此時氣流形態己進入分子流範圍, 故每一個氣體分子均獨立作任意 ...
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