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應用時域特性與類神經網路之 - 中華大學

若是高真空系統，則可選. 用擴散幫浦或是渦輪分子幫浦做為主要的抽氣幫浦，再以油封式機械幫浦或乾式. 真空幫浦做為粗抽幫浦和前級幫浦即可。若系統真空度需達超真空則可 ...

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