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真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用

本文從真空幫浦抽氣原理開始，介紹性能檢測. 技術及分析方法。 ... 旋轉滑片幫浦. • 魯式幫浦. • 螺旋幫浦. • 擴散幫浦. • 渦輪分子幫浦.

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