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第三章ITO 薄膜製作與光學及電學量測

一般而言，用濺鍍的方式來製作薄膜有著以下的優點：(1)金屬、合金或絕緣 ... (二) 冷卻系統：主要是用冰水機來冷卻擴散幫浦、永久磁鐵、靶材、真空腔外 ...

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