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張純志副教授 - 高雄師範大學物理系

擴散 泵浦的一大缺點是油氣回流(back streaming)的問題，油氣回流是指部份蒸氣分子與被. 排的氣體分子碰撞而散回到真空系統中的現象，解決方法是於擴散泵浦入口部前加裝 ...

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