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真空機械幫浦原理解說及維修 - 應用物理系

真空幫浦之操作原理是由機械式動作自真空腔室中抽氣,接著在幫. 浦中進行氣體傳輸、壓縮、排氣之行程 ... 統,圖1.3為擴散幫浦與真空機械幫浦組合成之高真空系統。各種幫.

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