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台先進封裝光學量測達次微米境界超越世界技術指標 - 中央社

... 系統」，以創新光學量測原理為基礎，運用深紫外寬頻光源作為光學偵測，藉機器學習演算進行反向優化最佳化，針對多項關鍵尺寸量測，突破技術瓶頸。

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