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Cleanroom Classification Standards(無塵室分類的標準)
理論上計算移除濾網前微塵粒子之風速為90 ft/min 。 ... 無塵室量測方法,項目包括:氣流速度、壓力. 、溫度、相對溼度、震動、噪音、換氣次數。 Fed 209B.
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