接著 利用蝕刻(Etching)技術,將部份未. 被光阻保護的氮化矽層加以除去,留下的就是所需要的線路圖部份。接著以磷為離子源(Ion. Source),對整片晶圓進行磷原子的植入( ...
確定! 回上一頁