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冷場發射掃描式電子顯微鏡

冷場發射掃瞄式電子顯微鏡(Field Emission-Scanning Electron Microscopy, FE-SEM)是利用入射電子束與試樣產生的二次電子或背向散射電子等來成像之一種高解析度表面形 ...

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