光學顯微鏡(OM). 掃描式電子顯微鏡. (SEM). 穿透式電子顯微鏡. (TEM). 掃描探針顯微技術. (SPM). 橫向解析度. 200 nm. 2-5 nm. 原子級. 原子級. 縱向解析度.
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