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掃描式電子顯微鏡(SEM) 儀器負責人： 程志賢老師分機

及對物透鏡的電磁透鏡縮小，接著將掃描訊號輸入到偏向線圈，電子束即可對試片. 表面進行掃描。電子束照射到試片後會放射出二次電子、背向散射電子及特性X 射.

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