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（1055）掃描式電子顯微鏡過去幾十年來

掃描式電子顯微鏡 （scanning electron microscopy, SEM）為一種. 電子光學成像技術，可以產生表面形狀圖像與元素資訊，並與各. 種偵測系統與元素探測器結合使用。

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