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5. 掃描式電子顯微鏡(SEM) 檢測實作觀摩

掃描式電子顯微鏡 (scanning electron microscope，SEM)之電子束和試片的碰. 撞作用可分為兩種，一為彈性碰撞，幾乎沒有損失能量；另一為非彈性碰撞，入射.

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