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場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM) - 國研院台灣半導體研究中心

場發射掃描式電子顯微鏡(Hitachi s-4000). 一、系統規格及型號： 1. 機型：HITACHI S-4000 2. 電子槍：冷場發射式電子源 3. 電壓：Vacc (Accelerating voltage): 0.5 ...

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