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掃描式曝光機
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曝光機英文- 安信电子公司深度芯源微:涂胶显影打破垄断
光刻机英语:Aligner是集成电路制造的关键设备。 截至以上的晶圆大多使用扫描式对准机来做曝光,其晶圆产能也是五种机型内最佳的。
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