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光刻機百科知識中文網- 曝光機英文

從發展歷史來看共五種機型，分别為接觸式contact ，接近式proximity ，步進式stepper ，掃描式scanner ，重複式repeat 。 截至以上的晶圓大多使用掃描式對準機來做曝光 ...

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