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掃描式曝光機
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台積公司表示浸潤式曝光顯影技術不久後可邁入量產 - TSMC
然而,利用浸潤式掃描原型機台但未使用台積公司專有技術所產出的晶片,其晶片缺陷數目高達數十萬個。此外,目前已發表的報告中,浸潤式曝光顯影技術產 ...
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「掃描式曝光機」
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