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掃描式曝光機
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AMOLED与LCD都需要的核心工艺设备曝光机
TFT曝光时, 光通过透镜或面镜将掩模板图案投影到光刻胶上的同时, 其基板主要采取步进式或扫描式移动, 以完成整版曝光。到AMOLED的上相差不大,只是LTPS会 ...
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「掃描式曝光機」
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