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扫描投影光刻机工作原理及优缺点?
接触式是指Mask压在Coating后的Wafer上,光源离Mask比较远。整体曝光,光同时照射整个Mask。这种曝光机曝光对版的磨损比较大。而且极易粘板。个人有幸见 ...
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