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掃描式曝光機
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投影式光刻機
投影式光刻機一般採用步進-掃描式曝光方法。光源並不是一次把整個掩模上的圖形投影在晶圓上,曝光系統通過一個狹縫式曝光帶(slit)照射在掩模上,如圖1(a)所示。
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