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光刻機到底是什麼？頂級光刻機只有ASML製造？他們延遲出貨 ...

1980年代，美國SVGL公司開發出第一代步進掃描投影曝光機，積體電路圖形 ... 尺寸的顯微切割儀器，她的原理與電子束光刻相近，不過是有電子變成離子。

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