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掃描式曝光機原理
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教學設備– 首頁 - 屏科材料
根據離子濺射原理進行薄膜製程。 ... 根據所需條件可以調整重複頻率、瓦數、掃描速度等參數對樣品加工。 圖片3 ... 採用直動式檢出器,無ARC 誤差問題。 3.
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