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曝光機原理曝光機 - Tlabt

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機（英語： stepper ）或掃描式光…

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