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光刻机原理介绍_科技 - 雅荷网

光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。 ... 高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十 ...

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