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掃描式曝光機原理
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从头了解光刻机-半导体新闻-摩尔芯球 - 芯片
1980年代,美国SVGL公司开发出第一代步进扫描投影曝光机,集成电路图形 ... 尺寸的显微切割仪器,她的原理与电子束光刻相近,不过是有电子变成离子。
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