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光刻机详解

光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。 ... 投影式光刻机又分为扫描式和步进式，扫描式采用1：1 光学镜头，由于扫描投影分辨率不高， ...

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