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掃描式曝光機原理
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株式会社菱光社
曝光裝置、奈米壓印裝置、各種鍍膜裝置、細微加工裝置 ... デモ機. 高度測量範圍. 高度測量解析度. 高度測量重複精度. Y軸掃描寬度 ... 相當於精簡曝光機的高速度.
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