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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

2.2.3 掃描式曝光機（Scanner）. 曝光是微影製程中最重要的一環，其原理並不複雜，但是因為尺寸的微小以精度的要. 求，使得曝光製程在技術上變的相當困難，由於IC 都是 ...

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