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真空技术的重要应用：详解光刻技术的原理

1980年代，美国SVGL公司开发出第一代步进扫描投影曝光机，集成电路图形 ... 调平调焦技术，因为光刻机在工作时拼接图形和步进式扫描曝光的次数很多。

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