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步进式曝光机原理 - 手机问答网

步进式曝光机原理. 曝光机工作原理在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶, ...

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