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掃描式曝光機原理
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AMOLED需要的核心工艺设备曝光机,有几个了解这么多……
原理 是紫外光经过MASK对涂有光刻胶的ITO玻璃曝光,曝光后的玻璃经显影产生 ... 在扫描式面镜曝光机中, 曝光时掩模板和基板同时移动, UV光通过Slit以扫描方式投影曝光。
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