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基於柔性機構的卷對卷印刷系統的精密設計及控制

本計劃的目標是開發一個以微接觸印刷（MCP）技術為基礎的精密多層卷對卷 ... 柔性機構已被廣泛的應用於高精度光刻定位設備，此技術將大幅提高多層滾筒印刷系統的可重複 ...

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