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微振動量測與檢測 - 捷創科技顧問有限公司[www.vibtech.com.tw]

高科技產業對於微振動的要求高於平常的環境標準，例如在半導體的製程朝40奈米(nm)進展時，日本已訂出在頻率 5~60 Hz的精密裝置其位移須小於0.1μm、加速度須小於0.1gal ...

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