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微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 - 台灣營建研究院

程設備上，都有微振動的等級要求規範，然而在各個科學園區，因為. 台灣地形跟地質的關係，也都會遭遇微振動的影響，包括半導體製程. 的設備，樓板的振動以及工作環境的 ...

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