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環境微振動標準與高感度加速規在低頻微振動下的選用及量測

本文主要是介紹低頻低振幅的環境振動，這種微振動(micro-vibration)對買驗室或半導體製程，檢測都有一定的影響，因此彙整出一般環境微振動的規格標準；另一方面普通的 ...

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