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為精密設備/儀器解決微震動問題- Part 1 倉敷化工除震系統解析

控制系統透過振動平台上的感測器檢測振動信號，計算出對應的控制信號，進而調節 ... FPD面板相關設備 ．電子光束顕微鏡、高倍率影像檢測 ．高精密測量設備. 作動方式/原理

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