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主動隔振技術簡介

境微振動速度不可超過0.75um/sec，適用於次世代奈米製程儀器開發之環境 ... 使用傳統被動式隔振器雖然可以隔離掉中高頻地板振動，卻有自然 ... 多半銷售予研究單位.

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