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微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹

該標準採用一組三分之一倍頻程速度譜的形式. （1/3 OCtave），其主要優點之一是振動以均方根速度而不是位移或加. 速度單位表示。各種研究顯示，雖然單個設備可能對不同 ...

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