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鑽石修整器修整特性對化學機械研磨製程的細微刮傷缺陷之影響

至於修整後之拋光墊表面粗糙度，以Rk、Rpk、Rvk 為指標做觀. 察的結果差異不大。 楊琦婷[20]在論文中指出(1)鑽石分佈位置會對鑽石磨耗產生影響，修整器之外. 圈 ...

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