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乙炔流量對Si-DLC 薄膜機械性質影響之研究

沒有出現G band，僅有出現D band，而當乙炔流量高於4 sccm 時，均有出現代表DLC 薄膜. 的D band 跟G band，並且根據拉曼分解圖中可發現本實驗之薄膜均含有波長1180 ...

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