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半導體應力測量| 拉曼| EAG實驗室

本應用筆記描述了測量應力 在SiGe襯底上生長的薄Si外延層（~0.1-0.2μm厚）中開發，其中含有30％Ge（圖1）。 514.5 nm波長激光束的穿透深度為~0.8μm，因此拉曼光譜（藍色） ...

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