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利用顯微拉曼光譜分析三維矽通孔表面結構應力分佈

關鍵字: 拉曼光譜;TSV;矽通孔;應力;stress;Raman spectroscopy. 出版社: 奈米科學研究所. 引用: [1] http://en.wikipedia.org/wiki/Moore%27s_law [2] Bruce W. Smith ...

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