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真空濺鍍機(Sputter) - 陽明交通大學奈米中心

儀器中文：真空濺鍍機. 儀器英文：Sputter ... 真空抽氣系統： 空載狀態30 min.內可抽氣至3 × 10 -6 Torr/ ... 真空腔：安裝兩隻濺鍍鎗(Cathode)且預留一個擴充空間.

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