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電子廠廠務真空泵變頻節能實務

真空 度可分為粗略真空. (1013~1 mbar)、中度真空(1~10-3 mbar)、高真空(10-3~10-7mbar)、超高真空(壓力. 小於10-7mbar) 。 電子廠中半導體與光電廠廠務設施中使用100 mbar ...

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