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抽真空原理
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真空泵浦與真空系統安全手冊 - Edwards Vacuum
如果不同製程所排出的廢氣是經由共用抽氣系統排放,可能會引起燃燒及/或爆炸。因. 此在泵送易燃材料時,建議您使用獨立的吸氣系統。 使用磷的製程會在真空 ...
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