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冷凍幫浦系統原理及維護鄭鴻斌副教授國立台北科技大學真空及 ...

目. 錄. 一、前言. 二、超低溫概念. 三、超低溫真空抽氣原理(超低溫冷凝/吸附/捕獲). 四、液池式幫浦. 五、二級G-M 氦氣循環幫浦. 六、基本冷凍真空幫浦抽氣系統介紹.

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