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低温泵｜真空泵（高真空）的基础知识

此时允许的最大粗抽压力为最大允许交叉压力。主阀打开的瞬间真空槽种的气体向低温泵流入，如果气体的量超过极限，则低温泵不能再次恢复排气 ...

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